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1， 防锈性，在与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此广泛采用铝合金，铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。
2， 工作压力范围在0～2.5×105Pa相对较宽的压力范围，会使产品的使用面更广泛，而且阀板的密封最好是双向的，至少阀板在反顶大气压时也可密封。
3， 低漏率，在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率，对降低生产成本非常有效。
4， 起动时，震动低，对系统冲击小。
5， 结构紧凑，重量轻
6， 明显的阀位指示
7， 可选配加装阀门启闭信号控制器，便于编程自动化控制。
8， 高流导
9， 采用波纹管作为位移的动密封，无动态漏气，无油脂污染，可靠性高，相对橡胶密封，可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。
10，真空部分尽量避免采用真空脂。
11，尽量减少真空部件内的无用空间，以保证真空获得的时间更少。
12，尽可能的减少功耗
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