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压力低于大气压,而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。
对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。
按介质压力真空阀门可分成四组:
1)低真空阀门:介质压力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空阀门:p=1×10-3 毫米汞柱。
3)高真空阀门:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
4)超高真空阀门:p≤1×10-8 毫米汞柱。
真空阀门广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制,但大通径来说,可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广,因为旋塞阀需要用油润滑,使油汽可能进入真空系统,而这是不允许的。
真空阀门关闭件是用像胶密封圈或金属密封圈来密封的。波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成。小通径(口径在10毫米以下)的截止阀关闭件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。