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真空阀门是指阀门内腔为真空状态,通常叫负压,内腔压力低于大气压,用于真空管道系统的阀门,有真空球阀,真空蝶阀,真空隔膜阀等。介质为高纯度。
球阀、闸阀、截止阀等等均能生产成真空阀和普通常规阀门。从外形上无区别,在阀门连接部位设计上是有分别的,只是细节上的问题。
真空阀门相对于正压阀门具有下列特点:
压力低于大气压,而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。
对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。
按介质压力真空阀门可分成四组:
1)低真空阀门:介质压力p=760~1毫米汞柱;
2)中真空阀门:p=1×10-3 毫米汞柱。
3)高真空阀门:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
4)超高真空阀门:p≤1×10-8 毫米汞柱。
真空阀门广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制,但大通径来说,可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。